设备用途：
该扩散炉供太阳能电池片生产线上156mm×156mm/125mmX125mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。有四套独立的工艺炉管。
产品描述： ◆关键件全部采用进口件，具有高可靠性。 ◆采用PC作为控制机，对炉温、气体流量、阀门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序 ◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。 ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。 ◆控温精度好，温区控温稳定性好。 ◆新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更适合于连续性大规模生产。 ◆闭管式扩散系统更洁净、更环保。
主要技术指标:
◆工作温度： 300~1300℃
◆有效口径 根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求定制）
◆温区精度 (静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃
300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
◆温度斜变能力：
*可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min
*降温速度(1300～900℃)： 5℃/min
| ◆气体流量设定精度： ±2％FS
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自动送料装置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mm/min
SiC浆承重 19kg
◆装片数量 400片/管
◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）
◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min |
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