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品牌:晨立
晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆的低温退火。
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:千级洁净
青岛晨立电子有限公司
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